芯片制造要害设备再打比比贴,woaijiejie破！离子注入机实现全谱

发布时间：2021-03-22 10:25

据悉。

，，工艺段笼罩至28nm，装备子集团持续打破高性能离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，有效缓解我国芯片制造规模断链、短链难题，可为全球芯片制造企业供给离子注入机一站式解决方案。

中国电科旗下装备子集团日前已乐成实现离子注入机全谱系产品国产化，从中国电科获悉，台湾YYC齿条，为我国芯片制造财富链补上重要一环，实现我国芯片制造规模全谱系离子注入机自主创新成长，累计形成焦点发现专利413项，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机， 3月17日，。