中国电科持续打破高性能离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，台湾YYC齿条，累计形成焦点发现专利413项。

这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材猜中， 新华社北京3月17日电 记者17日从中国电子科技集团有限公司获悉。

据介绍，可为全球芯片制造企业供给离子注入机一站式解决方案，，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备， 装备子集团有关卖力人暗示，该集团旗下装备子集团已乐成实现离子注入机全谱系产品国产化，实现我国芯片制造规模全谱系离子注入机自主创新成长，工艺段笼罩至28nm，企业将对准高端。

需要掺入差异种类的元素按预定方法转变质料的电性能， 离子注入机是芯片制造中的要害装备，加快研发合用于更先进工艺节点的离子注入机并积极推进财富化， 。

自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，在芯片制造历程中，有效缓解我国芯片制造规模断链、短链难题，。

紧跟先进工艺成长。

下一步。